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1.通過新薄膜FP法提高測量精度

   X射線鍍層測厚儀實現(xiàn)微小光束的高靈敏度，通過微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2。另外，針對檢測器的特性開發(fā)了新的EP法，F(xiàn)T110A可進行無標樣測量。測量結(jié)果可一鍵生成報告書，簡單方便。

    新 薄膜EP法    

      減少檢量線制作的繁瑣程度、實現(xiàn)了設(shè)定測量條件的簡易化；

      無標樣測量方法可進行zui多5層的膜厚測量；

    自動對焦功能和距離修正功能    

      凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進行測量；

    靈敏度提高

      鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2；

    生成報告功能

      一鍵生成測量報告書。

 

2.自動對焦功能 自動接近功能

   在X射線鍍層測厚儀樣品臺上放置各種高度的樣品時，只要高低差在80mm范圍內(nèi)，即可在3秒內(nèi)自動對焦被測樣品。由此進一步提高定位操作的便捷性。